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國內首臺納米級超精密氣浮運動臺

納米級超精密氣浮運動臺,包含宏動模塊與微動模塊。微動模塊采用自主研發的氣浮軸承及音圈電機驅動,可實現平面X、Y同步運動。采用激光干涉儀作為位置反饋,實現納米級定位精度與重復定位精度。
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  • 產品特性
  • 技術參數
  • 圖片參考

          納米級超精密氣浮運動臺,包含宏動模塊與微動模塊。微動模塊采用自主研發的氣浮軸承及音圈電機驅動,可實現平面X、Y同步運動。采用激光干涉儀作為位置反饋,實現納米級定位精度與重復定位精度。

          滿足納米級精度尺度的產品定制需求,適用于OLED無掩模激光光刻、激光直寫光刻、光刻機等高端制造行業。


    • 包含宏動模塊與微動模塊,滿足XY兩個自由度的運動
    • 采用激光干涉儀作為位置反饋,可實現納米級定位精度與重復定位精度
    • 微動模塊采用音圈電機驅動,無推力波動
    • 微動模塊采用自主研發的氣浮軸承,氣浮面為底座大理石表面,保證運動平面度
    • 最大速度500mm/s,最大加速度2g




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