五軸超精密氣浮運動臺
五軸超精密氣浮運動臺，滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求，適用于超鏡面加工、OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造行業。- 產品介紹
- 產品特性
- 技術參數
- 圖片參考
五軸超精密氣浮運動臺，滿足高速、高加速、高精度的產品定制需求，適用于超鏡面加工、OLED加工、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測、CCD成像、晶圓檢測、三維形貌等高端制造行業。
- X、Y、Z1、Z2、θ工作臺，直驅電機驅動可實現360°角度旋轉，兩z軸布置于平臺大理石橫梁，直線電機驅動垂向運動；配套平衡氣缸支撐，防止斷電掉落。
- 亞微米級重復定位精度
- 最大速度1000mm/s，最大加速度4g
- 單軸直線度可達±0.3μm，運動平面度可達±0.3μm
- X、Y兩軸正交性可達±1.0arcsec
- 直線電機驅動，光柵尺編碼反饋
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